来源：天津市发改委2023-02-03

密尔克卫化学品仓库及氮气备用系统建设项目41 千住电子有新建厂房项目42 农芯科技工业综合体项目43 洁美电子华北地区产研总部基地项目44 新一代micro-led半导体集成显示垂直整合制造项目45 津南海河集成电路设备产业主题园区改造提升工程

来源：西安市人民政府2022-10-25

依托三星、美光、华天、奕斯伟等企业，充分发挥陕西半导体先导技术中心等专业机构作用，积极发展集成电路设备及材料研发生产、集成电路制造和封装测试产业。

来源：中国电子报2015-06-24

其中，集成电路设备将继续保持快速增长。2015年，在02专项和国家集成电路产业投资基金的支持下，更多的国产集成电路设备将进入大生产线，国产集成电路设备的国内外市场将继续得到增长。

来源：北极星电力网2014-08-25

集成电路设备。主要包括6 英寸/8 英寸/12 英寸集成电路生产线所用的光刻机、刻蚀机、离子注入机、退火设备、单晶生长设备、薄膜生长设备、化学机械抛光设备、封装设备、测试设备等。