来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：中国电力报2022-05-06

构建现代能源体系，要求建筑功能实现巨大转化“过去从节能的角度出发，我们提出对建筑本体，要通过被动式设计来减少需求；对机电系统，要通过主动式优化来提高效率。”...对于机电系统，则有四个要求：全面电气化以取消化石能源，提高系统效率以降低能源消耗，提倡分散方式以避免过量供应，发展柔性用电以实现风电、光电的有效消纳。”江亿指出。

来源：重庆市人民政府2022-03-21

面向消费电子、数据中心、自动驾驶等领域，提高中高频射频前端芯片、激光雷达、毫米波雷达、驱动芯片、高性能滤波器、微机电系统等特色工艺芯片供给能力。积极发展化合物半导体。...化合物半导体、封装测试等方向，坚持区域集聚，以应用为牵引，以骨干企业为依托，以重大项目为抓手，持续扩大功率半导体领域优势地位，推进硅基光电子技术产业化，加快发展化合物半导体材料及芯片、模拟和数模混合芯片、微机电系统

来源：河南省人民政府2022-02-17

巩固提升气体、热释电红外、气象等传感器竞争优势，积极发展基于微机电系统的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，做优车联网、医疗物联网、家居物联网产业，协同发展云服务与边缘计算服务

来源：中国政府网2022-01-30

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究，提升物联网感知装备质量水平，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力。（十四）支撑碳达峰碳中和目标实现。

来源：国家电网报2022-01-11

系统级封装（sip）、微机电系统（mems）、纳机电系统（nems）等技术和工艺的突破和应用，将助力电力专用的微型化感知器件开发，推进电力设备的智能化。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

做强存储、驱动及射频、微机电系统等专用/通用芯片制造、封装测试、第三代半导体材料产业链，提升集成电路领域核心竞争力。积极布局微显示、量子点、全息、激光等显示技术，推动新型显示产业高质量发展。

来源：河北省工信厅2021-04-01

裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：美国菲力尔公司2021-03-09

声像仪通常采用mems（微机电系统）型麦克风，因其性能出色、稳定性强、功耗较低，并且尺寸较小。

来源：国家电网报2020-03-16

该项目全面深入开展无源光纤传感、低功耗mems（微机电系统）传感等新型光机电传感器技术研究，整体达到国际先进水平，在传感器微型化设计、抗电磁干扰选型、现场优化部署等方面取得实质性突破。

来源：河北省工信厅2019-04-16

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化；光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems）、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：北极星输配电网2019-04-08

经营计划（一）全面实现企业经营目标任务2019年的工作总体任务是：以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，全面贯彻党的十九大精神，按照中央经济工作会议以及航空工业、机电系统工作会精神，坚持新发展理念，

来源：北极星输配电网2019-03-19

经营计划2019年的工作总体任务是：以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，全面贯彻党的十九大精神，按照中央经济工作会议以及航空工业、机电系统工作会精神，坚持新发展理念，坚持高质量发展，推进技术创新、

来源：北极星输配电网2019-02-22

龙泉驿区上海屹丰成都基地项目70龙泉驿区威马汽车全球研发总部及西部运营中心71双流区欧派智能家居一期★72中国五冶（成都）建筑科技产业园★73温江区联东u谷高新国际企业港★74新都区鼎汉车辆高端装备和地面机电系统生产线项目

来源：北极星输配电网2019-01-17

相关项目工程整理如下：北京地铁 16 号线二期工程机电系统施工总承包(北安河站 -西苑站10座车站及区间机电安装工程)上海市轨道交通 17 号线工程接触轨系统及供电系统干线电缆、杂散电流防护系统、高架动力照明

来源：山东省人民政府2019-01-07

机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统

来源：北极星输配电网2018-11-05

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星输配电网整理2018-05-15

北方华创微电子的主要产品包括刻蚀、pvd、cvd、氧化/扩散、清洗、气体质量流量计等高端半导体工艺装备及核心零部件，广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏

来源：EDN电子技术设计2018-05-10

大多数传统的电网由许多机电系统组成;在这些现有的电网中，大多数情况下通信只是单向发送给用户。我们必须有双向通信的机制来分享和使用信息，以提高输配电的服务水平和效率。传统电网架构大多采用集中发电。