来源：国家电网报2020-11-03

辅助运维等功能，建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电

来源：国家电网报2020-03-16

该项目全面深入开展无源光纤传感、低功耗mems（微机电系统）传感等新型光机电传感器技术研究，整体达到国际先进水平，在传感器微型化设计、抗电磁干扰选型、现场优化部署等方面取得实质性突破。

来源：河北省工信厅2019-04-16

集成电路用高性能硅基材料和特种电子气体等专用材料研发和产业化；光刻机、多线切割机、清洗机及cmp抛光机等关键设备研发和产业化；模拟及数模混合电路、微机电系统（mems）、高电压电路、射频电路等特色专用工艺生产线研发

来源：国家电网报2019-04-09

重庆大学电气工程学院陈伟根教授认为，基于微机电结构的传感器具有微型化、集成化、低成本、低功耗的特征，能够满足新一代电力系统传感器多参量、智能化、高精度、高可靠的要求。...近年来，中国电科院高度重视智能传感专业方向的布局，在光纤传感、微机电传感、电力物联网、感知大数据等领域开展了关键技术攻关，并取得阶段性科研成果。但泛在电力物联网对智能传感技术提出了更高需求。

来源：北极星输配电网2019-02-11

大力发展生物三维(3d)打印技术、医用机器人、大型医疗设备、健康和辅助器械、可穿戴设备以及相关医疗mems(微机电)传感器件的研发,推动人工智能技术、脑机接口、虚拟现实等新技术在康复辅助器具产品中的集成应用

来源：山东省人民政府2019-01-07

、机械装备功能检测设备、科研检测分析仪器、食品化学及医疗检测仪、石油地质勘探仪、煤矿安全监测系统、环境保护检测仪、电力电子监测仪器、机器人用传感器、播种施肥检测传感器、药肥喷量智能传感器、智能化仪表、微机电系统

来源：北极星输配电网2018-11-05

重点发展微机电系统（mems）传感器、视觉传感器、智能仪器仪表等智能传感装备和数字化非接触精密测量、在线无损检测系统装备、激光跟踪测量仪器、可视化柔性装配装备以及远程运维及健康检测系统等检测设备，提升生产制造装备在线检测和装备产品全生命周期智能检测能力

来源：北极星输配电网整理2018-05-15

北方华创微电子的主要产品包括刻蚀、pvd、cvd、氧化/扩散、清洗、气体质量流量计等高端半导体工艺装备及核心零部件，广泛应用于集成电路、先进封装、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏

来源：工信部2017-12-15

发展市场前景广阔的新型生物、气体、压力、流量、惯性、距离、图像、声学等智能传感器，推动压电材料、磁性材料、红外辐射材料、金属氧化物等材料技术革新，支持基于微机电系统（mems）和互补金属氧化物半导体（cmos

来源：物联网资本论2017-11-06

公司还提供微机电系统(mems)传感器技术平台，能够打造集射频、基带、微处理器、嵌入式闪存、微机电系统传感器于一体的单芯片系统(soc)、系统级封装(sip)、晶圆级封装(wlp)、2.5d封装等一站式服务

来源：digitimes2017-05-11

magnetostrictive)及压电型(piezoelectric);而因为压电型发电是利用外在环境的振动力使压电材料变形，因此改变了压电材料的电场，进而产生电流，因此具有较高的力电耦合效应，再加上可以用微机电

来源：头条号/信立科技2017-03-13

提供精确可靠的产品，包括助听器元件、mems（微机电系统）麦克风、扬声器、受话器、传感器、电容器、振荡器等。...stmicroelectronicss（意法半导体）传感器产品包括mems（微机电传感器，包括加速度计、陀螺仪、数字罗盘、惯性模块、压力传感器、湿度传感器和麦克风）、智能传感器、sensorhub、温度传感器和触摸传感器

来源：新华网2016-12-08

以微机电系统技术为基础的智能传感器发展水平已成为衡量一个国家是否具有国际竞争优势的重要标志。

来源：京津冀电工2016-10-21

在生产调试微机电动机综合保护功能中的低电压保护时，一定要正确选择电压输入点，必须经过56k的电阻加电压，如果不注意将电压输入点接错，将会烧坏电压互感器。10.

来源：NE电气2016-09-30

本方面包括生物仪器，生物传感器，计算神经网络，生物医学超声学，微机电系统(mems)，神经系统中信号的传递与编码，高能粒子与生命物质的相互作用，高能粒子束与高能x光在治疗肿瘤中的临床应用。...电气工程与物理科学间的紧密联系与交叉仍然是今后电气工程学科的关键，并且将拓宽到生物系统、光子学、微机电系统(mems)。21世纪中的某些最重要的新装置、新系统和新技术将来自上述领域。3、快速变化。

来源：北极星输配电网2016-09-19

大力发展mems(微机电系统)器件、智能传感器及敏感元器件、宽禁带半导体器件、微波器件、半导体功率器件等，推动新型半导体分立器件规模化发展。

来源：北极星输配电网整理2016-08-09

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。5.智能机器人。

来源：电力专家联盟2016-06-08

主要培养从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面的人才。就业前景：本科毕业后能从事微机电系统工程方面的设计制造、生产运行、科技开发和技术经济管理方面工作。...热门院校：四川大学 哈尔滨工业大学 北京师范大学0802机械类080210t微机电系统工程培养目标：本专业是以机、电技术，尤其是微机械为基础的，综合多种学科领域技术的新型交叉学科。

来源：北极星输配电网2016-04-18

围绕能源互联网，积极响应国家新能源发展政策;加强与科研院所、高等院校的合作，大力开发智能电器、自动化信息化等产品技术，包括系统成套设备、电力储能系统、用户侧智能电器产品与系统、智能配电领域微机电应用技术

来源：《中国高校之窗》2016-01-11

李宏男教授团队的该项技术发明的关键词在于高灵敏度、精确解调、同步采集，为此需要多学科的交叉融合、集成创新，它涉及土木、力学、光学、信号、微机电系统等诸多领域。