来源：衡阳市人民政府2023-04-21

加强空调、照明、电梯等重点用能设备运行调适，提升设备能效，到2030年实现公共建筑机电系统的总体能效在现有水平上提升10%。

来源：攀枝花市住房和城乡建设局2023-01-05

加强空调、照明、电梯等重点用能设备运行调适，提升设备能效，到2030年实现公共建筑机电系统的总体能效在现有水平上提升10%。

来源：德州市人民政府2022-12-28

集成电路封装测试方面：研发逻辑 ic、存储器和微机电系统（ mems）单/双列直插封装业务，发展球栅阵列封装（ bga）、插针网格封装（ pga）、小外形封装（ sop） 等主流封装工艺， 研发圆片级封装

来源：陕西省人民政府2022-12-19

推动企业开展智能传感器、微机电系统传感器等关键参数计量测试技术方法研究，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力，提升数字产业的计量服务能力。（十二）服务大众健康与安全。

来源：湖北省市场监督管理局2022-11-15

二、环境感知技术研究:微机电系统(mems)执行器、mems激光雷达、mems智能感知微系统等。三、生物医学传感技术研究:柔性无创高清三维内窥实时成像技术、肿瘤手术中高特异性快速成像技术等。

来源：绍兴市人民政府2022-11-09

以特色工艺芯片制造为主攻方向，依托绍芯实验室，提升在外延、晶圆检查、热氧化、溅射、光刻等环节工艺集成创新能力，推进8英寸、12英寸晶圆制造代工生产线建设，大力发展以微机电系统、功率器件为主的特种工艺晶圆制造

来源：西安市人民政府2022-10-25

突破微机电系统（mems）微结构加工、高密度封装等关键共性技术，加快传感器产品开发和产业化，开发下一代电力电子器件，支持典型领域推广应用。...加快航空关键零部件特色优势领域提升发展，强化关键零部件和材料攻关，大力提升航空发动机压气机零部件、叶盘、机匣、轴流压气机等零部件产品研制水平，做强航电机电系统等飞机机载设备和系统，促进零部件配套企业集聚发展

来源：黑龙江省住房和城乡建设厅2022-10-20

加强空调、照明、电梯等重点用能设备运行调适，鼓励对空调、照明、电梯等重点用能设备实现智慧化管理，不断降低建筑机电系统能耗，提升设备能效，到2030年实现公共建筑机电系统的总体能效在现有水平上提升10%。

来源：无锡国家高新技术产业开发区2022-09-29

为了保持高新区集成电路制造业在全国的领先地位，在晶圆制造环节，要重点支持有特色的模拟工艺、数模混合工艺、微机电系统（mems）工艺、射频工艺、新型功率器件工艺的开发应用，推动全区集成电路特色工艺生产线的建设与扩产

来源：河南省人民政府2022-09-28

充分发挥我省在先进计算、智能传感器、集成电路、新型显示和智能终端、信息安全等领域特色优势，重点研发声光学元器件及模组、新型光学显示器件、光通信芯片、信息安全芯片、微机电系统传感器等核心部件，大力发展用于元宇宙的操作系统

来源：鹤壁市人民政府2022-09-23

以智能传感器为方向，抓住纳入全省“一谷六园”布局契机，发展基于微机电系统（mems）的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，打造智能传感器设计、制造和封装产业链

来源：广东省工信厅2022-09-08

实现集成多维度信息采集能力的高端传感器开发，重点发展新型微机电系统（mems）传感器和智能传感器，突破微型化、智能化的电声器件和图像传感器件。

来源：工信部2022-08-29

重点发展2级及以上能效电机、直驱与集成式永磁/磁阻电驱动系统、超高效大转矩机电系统总成、智能电机、微电网与第三代半导体变频供电的高效电机系统及电驱动装备。

来源：嘉兴市人民政府2022-08-01

重点发展智能芯片制造与封测、关键电子材料制造等产业，以低功耗、小型化、高灵敏度为目标，积极发展新型敏感元件、微纳器件、微电子联接器件、微机电系统（mems）、压力传感器等高端电子元器件。

来源：江苏省人民政府2022-07-29

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。...开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（三）服务大众健康与安全。

来源：重庆市人民政府2022-07-18

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：宜昌市人民政府2022-06-06

支持航天器及运载火箭、通用飞机、直升机、航空发动机、航电系统、飞控系统、机电系统、航空材料和元器件等产品开发开展，航空芳纶蜂窝及夹层结构加工、航空运输服务低空空域开放、通用航空、航空应急救援体系建设所需的关键技术研发

来源：广州市人民政府2022-06-02

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...工业控制、医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统

来源：南宁市人民政府2022-05-26

发展重点：智能终端产品领域，重点发展覆盖手机、平板、tws耳机、可穿戴设备、智能音箱、vr/ar等主流智能终端设备；核心关键零部件领域，重点发展光学模组、声学器件、电磁传动、微机电系统（mems）、传感器

来源：中国科学院2022-05-12

1.机械、电气、自动化等相关专业博士毕业生，有动力机械及自动化开发工作2年以上工作经验者优先录用；2.熟练掌握solidworks、autocad等机械设计软件；3.熟练掌握ansys、comsol等机电系统仿真软件