来源：河南省人民政府2022-09-28

充分发挥我省在先进计算、智能传感器、集成电路、新型显示和智能终端、信息安全等领域特色优势，重点研发声光学元器件及模组、新型光学显示器件、光通信芯片、信息安全芯片、微机电系统传感器等核心部件，大力发展用于元宇宙的操作系统

来源：鹤壁市人民政府2022-09-23

以智能传感器为方向，抓住纳入全省“一谷六园”布局契机，发展基于微机电系统（mems）的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，打造智能传感器设计、制造和封装产业链

来源：南方电网报2022-09-21

近年来，随着新型敏感材料和微机电(mems)工艺快速发展，涌现出了磁阻、压电、光电、磁光等先进传感技术和元器件，其具备微纳体积、高精度、高信噪比、宽频带、超低功耗等优势，为新一代电力微型智能传感器发展提供了新的技术路径

来源：广东省工信厅2022-09-08

实现集成多维度信息采集能力的高端传感器开发，重点发展新型微机电系统（mems）传感器和智能传感器，突破微型化、智能化的电声器件和图像传感器件。

来源：嘉兴市人民政府2022-08-01

重点发展智能芯片制造与封测、关键电子材料制造等产业，以低功耗、小型化、高灵敏度为目标，积极发展新型敏感元件、微纳器件、微电子联接器件、微机电系统（mems）、压力传感器等高端电子元器件。

来源：江苏省人民政府2022-07-29

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。...开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。（三）服务大众健康与安全。

来源：重庆市人民政府2022-07-18

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：江苏省发改委2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备

来源：广州市人民政府2022-06-02

加快发展先进高压电路器件工艺、电源管理超级集成硅栅半导体（bcd）工艺、数模混合集成工艺、微机电系统（mems）工艺、射频电路、锗硅工艺、硅光工艺、微控制集成工艺等特色专用工艺。...工业控制、医疗器械等领域的新兴需求，重点布局敏感元器件、储能器件、光通信器件、量子器件等新型电子元器件，积极发展光子芯片、高速光模块、光电耦合器、光电交换器件、高性能低成本光纤预制棒，以及光无源器件和微机电系统

来源：南宁市人民政府2022-05-26

发展重点：智能终端产品领域，重点发展覆盖手机、平板、tws耳机、可穿戴设备、智能音箱、vr/ar等主流智能终端设备；核心关键零部件领域，重点发展光学模组、声学器件、电磁传动、微机电系统（mems）、传感器

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-10

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市经济和信息化委员会2022-05-09

推动传感器企业、智能仪器仪表企业与半导体领域企业深化合作，加强基于mems（微机电系统）技术架构的传感器与智能仪器仪表生产工艺研发，提升环境监测用先进传感器产品（组件）、智能工控系统以及智能工厂、绿色工厂信息系统整体解决方案供给能力

来源：重庆市人民政府2022-03-21

面向消费电子、数据中心、自动驾驶等领域，提高中高频射频前端芯片、激光雷达、毫米波雷达、驱动芯片、高性能滤波器、微机电系统等特色工艺芯片供给能力。积极发展化合物半导体。...化合物半导体、封装测试等方向，坚持区域集聚，以应用为牵引，以骨干企业为依托，以重大项目为抓手，持续扩大功率半导体领域优势地位，推进硅基光电子技术产业化，加快发展化合物半导体材料及芯片、模拟和数模混合芯片、微机电系统

来源：安徽省发改委2022-02-24

项目五河县新希望六和生猪屠宰及绿色食品深加工基地项目五河县富明承插型盘扣式脚手架项目怀远县宝钢新建智能化铝制两片罐生产基地项目禹会区新型智造双创产业园项目固镇县长三角产业转移示范园项目怀远县绿色建材产业建设项目安建工建材产业园项目禹会区正嘉高低压成套设备生产线项目固镇县电子信息产业园项目五河县荣旺纺织项目五河县茂禄纺织项目怀远县雁湖面粉厂技改搬迁项目五河县宏新食品项目五河县正鹰水泥编织袋项目怀远县鸿云年产200万套汽车后视镜、尾灯及总成项目五河县锋伟水泥编织袋项目禹会区微机电双创产业园项目怀远县振立年产

来源：河南省人民政府2022-02-17

巩固提升气体、热释电红外、气象等传感器竞争优势，积极发展基于微机电系统的新型智能传感器，丰富智能传感器、射频卡、嵌入式芯片、传感网络设备等物联网产品体系，做优车联网、医疗物联网、家居物联网产业，协同发展云服务与边缘计算服务

来源：中国政府网2022-01-30

开展智能传感器、微机电系统（mems）传感器等关键参数计量测试技术研究，提升物联网感知装备质量水平，打造全频域、全时段、全要素的计量支撑能力。（十四）支撑碳达峰碳中和目标实现。

来源：国家电网报2022-01-11

系统级封装（sip）、微机电系统（mems）、纳机电系统（nems）等技术和工艺的突破和应用，将助力电力专用的微型化感知器件开发，推进电力设备的智能化。

来源：安徽省人民政府2021-04-23

做强存储、驱动及射频、微机电系统等专用/通用芯片制造、封装测试、第三代半导体材料产业链，提升集成电路领域核心竞争力。积极布局微显示、量子点、全息、激光等显示技术，推动新型显示产业高质量发展。

来源：河北省工信厅2021-04-01

、裂片机及cmp抛光机等关键设备；电源管理芯片、北斗导航芯片、电力电子（igbt）芯片、服务器芯片、太赫兹芯片、5g基站芯片、高端传感器芯片，以及滤波器、功率放大器等关键芯片器件；模拟及数模混合电路、微机电系统

来源：美国菲力尔公司2021-03-09

声像仪通常采用mems（微机电系统）型麦克风，因其性能出色、稳定性强、功耗较低，并且尺寸较小。